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パウダートラップHTシリーズ

パウダートラップHTシリーズは、主に半導体・液晶製造装置(イオン注入、CVD,エッティングプロセス)から排気される反応生成物を捕捉するフィルタです。
フィルタ前段でのトラップ機能にて捕捉と電着効果を持たせた捕捉面積が大きなプリーツ状カートリッジにて低圧損、長寿命化を可能にしました。

5つの特徴

環境にやさしい

反応生成物を成長促進させます。

環境にやさしい

捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。

環境にやさしい

プリーツ状カートリッジの為、低圧損です。

環境にやさしい

カートリッジは電着効果を持たせた濾材を使用し微細なパウダーも捕捉します。

環境にやさしい

ドライポンプの真空ライン、排気ラインへの設置が可能です。

用途

■イオン注入装置
■CVD装置
■エッチング装置 etc

効果

■配管の目詰まり防止
■ドライポンプ・真空ポンプの故障防止
■ダウンタイムの低減
■メンテナンスの低減

設置例

型式 外形寸法 接続継手 重量 最高仕様圧力 リリーフ弁作動圧 本体材質
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