パウダートラップHTシリーズは、主に半導体・液晶製造装置(イオン注入、CVD,エッティングプロセス)から排気される反応生成物を捕捉するフィルタです。
フィルタ前段でのトラップ機能にて捕捉と電着効果を持たせた捕捉面積が大きなプリーツ状カートリッジにて低圧損、長寿命化を可能にしました。
反応生成物を成長促進させます。
捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。
プリーツ状カートリッジの為、低圧損です。
カートリッジは電着効果を持たせた濾材を使用し微細なパウダーも捕捉します。
ドライポンプの真空ライン、排気ラインへの設置が可能です。
■イオン注入装置
■CVD装置
■エッチング装置 etc
■配管の目詰まり防止
■ドライポンプ・真空ポンプの故障防止
■ダウンタイムの低減
■メンテナンスの低減
この度は当社へご興味お持ちいただきありがとうございます。
製品に関するお悩みございましたら、是非一度お気軽にご相談ください。
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