アルミナイトカートリッジ ATシリーズ
ATアルミナイトカートリッジは、精密分野各種装置に使用されるフッ素系不活性液中に溶解した酸及び腐食性イオンまで除去いたします。
パウダートラップHTシリーズ
パウダートラップHTシリーズは、主に半導体・液晶製造装置（イオン注入、CVD,エッティングプロセス）から排気される反応生成物を捕捉するフィルタです。
カテゴリー: 半導体関連
半導体関連
確かな技術に基づいたフィルタメーカー
確かな技術に基づいたフィルタメーカー
半導体関連
ATアルミナイトカートリッジは、精密分野各種装置に使用されるフッ素系不活性液中に溶解した酸及び腐食性イオンまで除去いたします。
パウダートラップHTシリーズは、主に半導体・液晶製造装置（イオン注入、CVD,エッティングプロセス）から排気される反応生成物を捕捉するフィルタです。