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アルミナイトカートリッジ ATシリーズ

ATアルミナイトカートリッジは、精密分野各種装置に使用されるフッ素系不活性液中に溶解した酸及び腐食性イオンまで除去いたします。

5つの特徴

環境にやさしい

フッ素系不活性液中に溶解した酸及び腐蝕性イオンまで除去します。

環境にやさしい

0.1μ程度の微細なパーティクルも除去し脱色と脱臭効果もあります。

環境にやさしい

弊社SUS製フィルタケースHRシリーズへの使用が可能です。

環境にやさしい

用途において水分の混入がある場合吸水カートリッジもあります。

環境にやさしい

フッ素イオンと溶解水分を除去する仕様もあります。

主な用途

・半導体製造装置 チラーユニット
・サーマルショック装置
・CCD・CMOSセンサ等電子デバイスの除塵
・半導体製造装置部品、チャンバーの洗浄
・油回転真空ポンプ油
・フッ素系不活性液使用各種装置
・各種熱媒体
・各種潤滑油
・絶縁油
・各種溶剤  

設置例

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